特征

• 提高可用性：可通過 PC/智能手機(jī)連接進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等

• 燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控?zé)艚z功率，可以提前通知燈絲壽命。

• 可連接不同測量范圍的探頭：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。

• 緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），超小規(guī)格

• 產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。

• 世界首三極管型金屬電離真空計(jì)：真空計(jì)即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)長壽命。

• 壓力測量范圍廣：可測量大氣壓至高真空范圍（1×10 ⁺⁵～ 1×10 ^{-5 Pa）（連接選購件SWU10-R時(shí)）}

• 精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當(dāng)連接可選單元 SAU 時(shí)）

目的

• 用于有機(jī)EL、觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)和工序管理。

• 用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力。

• 用于在含有大量碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑拇髿庵羞M(jìn)行測量

• 用于在真空零件加工過程中殘留有切削油或清洗液的環(huán)境中進(jìn)行測量。

• 適用于旨在減少更換真空計(jì)探頭頻率的真空設(shè)備。

*在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氣氛中使用時(shí)，請與我們聯(lián)系。