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日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥

描述:日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

  • 產(chǎn)品型號:GR180A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-07-02
  • 訪問量:82
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題:日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥

產(chǎn)品概述

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥


干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

特點

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室(裝載/卸載室),可實現(xiàn)高吞吐量。

  • 感應(yīng)電機可通用

  • 可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)

  • 采用多電壓兼容電機

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

  • 真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1030)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力(排出圧力)Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理
電機輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質(zhì)量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力
MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差
MPa>0.1
冷卻水溫度10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側(cè)
供給圧力
MPa0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3
MPa0.05 to 0.1 (運作時)
SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。







ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司



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