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描述:日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
標(biāo)題:日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
產(chǎn)品概述
日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。
適用load lock室(裝載/卸載室),可實現(xiàn)高吞吐量。
感應(yīng)電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)
采用多電壓兼容電機
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質(zhì)量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮氣 | 一次側(cè) 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 |
*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻"。
自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。
通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科(寧波)有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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