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描述:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。在4種機型中,您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
標題:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵
產品概述
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB(A)以下,
這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級(*1))
■C規(guī)格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發(fā)科技術。
該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本(*3)
■希望進一步提高排氣速度的話,建議您搭配機械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達到120~1200m3/h。
(*1)LS120A-C時
(*2)C規(guī)格時
(*3)L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。
LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。
型式 | (C:C式樣) (L:L式樣) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
C | L | C | L | C | L | C | L | ||
最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
電源電壓 | 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
消費電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 |
最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
吸氣口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
質量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
適用規(guī)格 | CE、cTUVus | ||||||||
標準附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器 | ||||||||
本體選配件 | 電源電壓:200V級或400V級、密封部材質:全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
外部選配件 | MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge |
*1:到達壓力時
*2:C式樣不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司,他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。
自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備,ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術,包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內,零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應各領域的需求,為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科(寧波)有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(寧波)有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
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