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日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵

描述:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中,您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

  • 產品型號:LS120A
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-07-02
  • 訪問量:122
產品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵

產品概述

日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵

日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型 干式真空泵


LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合,使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

在4種機型中,您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB(A)以下,
 這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級(*1)

■C規(guī)格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發(fā)科技術。
 該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)

■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本(*3)
■希望進一步提高排氣速度的話,建議您搭配機械增壓泵使用。
 通過組合使用排氣速度可以達到120~1200m3/h。

(*1)LS120A-C時
(*2)C規(guī)格時
(*3)L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。


用途

LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。


其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

型式(C:C式樣)
(L:L式樣)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排氣速度m3/h1203806001000
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力
概略值 *1
kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
最大水蒸氣
處理量 *3
kg/h1.51.51.51.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸氣口KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40KF40KF40KF40
質量kg142220242266
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
本體選配件電源電壓:200V級或400V級、密封部材質:全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、
Gas purge

*1:到達壓力時
*2:C式樣不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏



ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司,他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備,ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術,包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內,零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。


盡管ULVAC現在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應各領域的需求,為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司

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