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描述:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 輕工藝用途LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。在4種機(jī)型中,您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
標(biāo)題:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 輕工藝用途
產(chǎn)品概述
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 輕工藝用途
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 輕工藝用途
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h,與以往的真空泵相比,排氣時(shí)間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時(shí)的噪音值在61dB(A)以下,
這是一個(gè)在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中也不會(huì)打擾到您的噪音等級(*1))
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。
該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下(*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本(*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話,建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120~1200m3/h。
(*1)LS120A-C時(shí)
(*2)C規(guī)格時(shí)
(*3)L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。
LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型,適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說,包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能,適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。
型式 | (C:C式樣) (L:L式樣) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
C | L | C | L | C | L | C | L | ||
最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
到達(dá)壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
電源電壓 | 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
消費(fèi)電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 |
最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
吸氣口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
質(zhì)量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
適用規(guī)格 | CE、cTUVus | ||||||||
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器 | ||||||||
本體選配件 | 電源電壓:200V級或400V級、密封部材質(zhì):全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
外部選配件 | MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge |
*1:到達(dá)壓力時(shí)
*2:C式樣不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時(shí),它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。
自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值
ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。
通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大,但其冒險(xiǎn)精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科(寧波)有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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