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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵 耐腐蝕

描述：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵 耐腐蝕
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：MS120A
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-07-02
  • 訪問(wèn)量：228
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵 耐腐蝕

產(chǎn)品概述

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵 耐腐蝕

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵 耐腐蝕




MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。

特點(diǎn)

  • 通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途

  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值　*1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質(zhì)量 *4kg139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到達(dá)壓力時(shí)
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer



ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時(shí)，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司，他們希望“通過(guò)真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。

自成立以來(lái)，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán)，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi)，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過(guò)與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來(lái)

ULVAC還希望通過(guò)與客戶的溝通來(lái)支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大，但其冒險(xiǎn)精神始終沒(méi)有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部

愛(ài)發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社

愛(ài)發(fā)科低溫有限公司

愛(ài)發(fā)科（寧波）有限公司

韓國(guó)愛(ài)發(fā)科低溫公司

愛(ài)發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

愛(ài)發(fā)科銷售有限公司

愛(ài)發(fā)科科技有限公司

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