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日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣

描述:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。

  • 產(chǎn)品型號:MS1200A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-07-02
  • 訪問量:219
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣

產(chǎn)品概述

日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣

日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣




MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。

特點

  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

  • 半導體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值 *1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質(zhì)量 *4kg139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1:到達壓力時
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4:Including a silencer



ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司



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