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描述:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。
標題:日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
產(chǎn)品概述
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
半導體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
電源電壓 | 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
排氣口 | KF40 | |||
質(zhì)量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
標準附屬品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
本體選配件 | Power supply:200V Class or 400V Class Material of seal:FKM or FFKM | |||
外部選配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve |
*1:到達壓力時
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4:Including a silencer
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。
自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。
通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科(寧波)有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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