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描述:HORIBA堀場(chǎng) 扁平碳傳感器型 電導(dǎo)率計(jì)這是一款低濃度電導(dǎo)率計(jì),采用具有高耐化學(xué)性的碳傳感器。非常適合回收半導(dǎo)體制造和 FPD 制造過程中的化學(xué)溶液和純水。采用耐化學(xué)腐蝕的二電極碳傳感器,測(cè)量化學(xué)溶液的電導(dǎo)率,可用于工藝過程中的濃度控制、化學(xué)溶液的稀釋控制以及超純水的回收監(jiān)測(cè)。
標(biāo)題:HORIBA堀場(chǎng) 扁平碳傳感器型 電導(dǎo)率計(jì)
產(chǎn)品概述
HORIBA堀場(chǎng) 扁平碳傳感器型 電導(dǎo)率計(jì)
HORIBA堀場(chǎng) 扁平碳傳感器型 電導(dǎo)率計(jì)
通過保持適當(dāng)?shù)碾妼?dǎo)率值,漿料的稀釋水平保持恒定,有助于晶圓拋光過程的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品名稱 | 電導(dǎo)率儀 | |||
---|---|---|---|---|
模型 | HE-960LF | |||
測(cè)量方法 | 2 電極電導(dǎo)率測(cè)量 | |||
溫度傳感器規(guī)格 | 測(cè)溫電阻1000Ω(0℃時(shí)) | |||
測(cè)量范圍 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
電導(dǎo)率儀 | 0.00~20.00μS/cm | 0.0~200.0μS/cm | ||
0.0~200.0μS/cm | 0~2000μS/cm | |||
0~1000μS/cm | 0~10000μS/cm | |||
*通過改變溫度補(bǔ)償前的電導(dǎo)率測(cè)量范圍設(shè)置來切換范圍 | ||||
溫度 | 0~100℃ 但根據(jù)傳感器規(guī)格(小數(shù)點(diǎn)后可選擇1位或2位) | |||
濃度換算 | 可選 1、2 | 0至10.000%(轉(zhuǎn)換公式由用戶設(shè)定) | ||
重復(fù)性 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
電導(dǎo)率 | 0.00~20.00μS/cm量程 | 0.0~200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內(nèi) | |
0.0~200.0μS/cm范圍 | 0~2000μS/cm范圍 | |||
0~1000μS/cm范圍 | 0~10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內(nèi) | ||
溫度 | ±0.5℃以內(nèi) | |||
狀況 | 具有等效輸入 | |||
線性度 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
電導(dǎo)率 | 0.00~20.00μS/cm量程 | 0.0~200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內(nèi) | |
0.0~200.0μS/cm范圍 | 0~2000μS/cm范圍 | |||
0~1000μS/cm范圍 | 0~10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內(nèi) | ||
溫度 | ±0.5℃以內(nèi) | |||
任意濃度 | 具有等效輸入 | |||
變速輸出 | 輸出點(diǎn)數(shù):4點(diǎn) ? DC4-20mA/0-20mA 輸入輸出隔離型 ? 最大負(fù)載電阻:900Ω ? 變送輸出范圍:在測(cè)量范圍內(nèi)任意設(shè)定 ?(各變送輸出負(fù)端內(nèi)部連接,具有相同的潛力) | |||
接點(diǎn)輸出 | 輸出點(diǎn)數(shù):5點(diǎn) ? 報(bào)警接點(diǎn)輸出(R1至R4) ? 接點(diǎn)類型:繼電器接點(diǎn)、SPST(1a) ? 接點(diǎn)容量:AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A(電阻負(fù)載) ? 接點(diǎn)功能:各測(cè)量對(duì)象上、下限動(dòng)作(ON/OFF控制)、延遲時(shí)間 ? 接點(diǎn)動(dòng)作:動(dòng)作時(shí)間、常開(包括斷電) ??。ǖ玆1、R2、R3為COMMON接點(diǎn)共用) ? 報(bào)警接點(diǎn)形式:繼電器接點(diǎn)、SPST (1c) ? 接點(diǎn)容量:AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A(電阻負(fù)載) ? 接點(diǎn)功能:從錯(cuò)誤、異常報(bào)警、維護(hù)中選擇 ? 接點(diǎn)動(dòng)作:使用 C-NO 時(shí),正常時(shí)閉合,異常時(shí)閉合狀態(tài)(包括斷電) 開路 ?(C 和 NC 觸點(diǎn)狀態(tài)相反) ?(但 COMMON 觸點(diǎn)是 R4 和 RF 公共的) | |||
接點(diǎn)輸入 | 輸入點(diǎn)數(shù):1點(diǎn) | |||
輸入形式:集電極開路無電壓a接點(diǎn) | ||||
接點(diǎn)功能:傳送輸出保持 | ||||
通訊輸出 | RS-485輸入/輸出 | |||
校準(zhǔn)功能 | 通過輸入電導(dǎo)池常數(shù)校正系數(shù)(參數(shù)輸入) 與溫度參考溫度計(jì)進(jìn)行比較校準(zhǔn) | |||
傳送輸出保持功能 | 選擇前一個(gè)值保持或任意值保持 (但是,在維護(hù)模式下,將保持前一個(gè)值) | |||
自診斷功能 | 傳感器診斷(溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線)轉(zhuǎn)換器故障 | |||
電導(dǎo)率溫度補(bǔ)償 | ●輸入任意溫度系數(shù)(參考溫度:5~95℃,溫度系數(shù):0~5%/℃) ●輸入任意溫度補(bǔ)償公式(補(bǔ)償公式由用戶設(shè)定) ●無溫度補(bǔ)償 | |||
溫度補(bǔ)償范圍 | 0至100℃(但是,溫度低于0℃和高于100℃時(shí),計(jì)算范圍會(huì)擴(kuò)大) | |||
環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |||
相對(duì)溫度 | -25~65℃ | |||
電源 | 額定電壓 DC24V 10W(最大) | |||
結(jié)構(gòu) | 面板安裝 室內(nèi)安裝類型 面板外殼:ABS,端子部分:PBT 面板部分防滴結(jié)構(gòu) | |||
兼容標(biāo)準(zhǔn) | CE標(biāo)志 | EMC 指令:EN61326-1 | ||
FCC法規(guī) | FCC 第 15 部分 | |||
大量的 | 約550克 | |||
外形尺寸 | 96(寬)× 96(高)× 115(深)毫米 外殼深度:約 105 毫米(安裝在面板上時(shí)) | |||
兼容傳感器 | FS-09F-1/2 |
格式 | FS-09F-1/2 | FS-09F-1/2-200 |
---|---|---|
液接部材料 | 玻碳 PFA Kalrez® | |
配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
樣品流速 | 0~10L/min的流量沒有影響 ,但要保證樣液更換所需的流量和溫度。 | |
樣品壓力 | 0~0.3MPa 但20~30℃ | |
樣品溫度 | 如果環(huán)境溫度20~30℃ 與液體溫度相差5℃,就會(huì)出現(xiàn)1℃左右的測(cè)量誤差。 | |
電纜長度 | 約3.5m |
HORIBA Advanced Techno
HORIBA Advanced Techno
HORIBA Advanced Techno
HORIBA Advanced Techno 是 HORIBA 集團(tuán)內(nèi)水和液體測(cè)量領(lǐng)域的專家團(tuán)隊(duì)。HORIBA的業(yè)務(wù)涵蓋四個(gè)業(yè)務(wù)領(lǐng)域:環(huán)境解決方案、半導(dǎo)體工藝解決方案、生物工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室/現(xiàn)場(chǎng)解決方案,并在水和液體測(cè)量領(lǐng)域提供各種服務(wù)和解決方案。 HORIBA 集團(tuán)將 70 多年的水和液體測(cè)量技術(shù)知識(shí)整合到 HORIBA Advanced Techno 中,并將其業(yè)務(wù)領(lǐng)域擴(kuò)展到快速增長的水市場(chǎng),主要是在新興國家。此外,除了現(xiàn)有的安裝型解決方案之外,Horiba Advanced Techno提出的新解決方案,例如利用物聯(lián)網(wǎng)的訂閱業(yè)務(wù),即使在發(fā)達(dá)國家也作為解決問題的方案而受到關(guān)注。
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