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EBARA荏原 干式 真空泵 高節(jié)能性能型

描述：EBARA荏原 干式 真空泵 高節(jié)能性能型
干式真空泵非常適合節(jié)能和高負載工藝

  • 產(chǎn)品型號：EV-M20N
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-07-24
  • 訪問量：210
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題：EBARA荏原 干式 真空泵 高節(jié)能性能型

產(chǎn)品概述

EBARA荏原  干式  真空泵  高節(jié)能性能型

EBARA荏原  干式  真空泵  高節(jié)能性能型


EV-M型

干式真空泵非常適合節(jié)能和高負載工藝

兼容高負載流程
兼容高溫控制
節(jié)能減排
耐腐食性材料標準采用
耐腐蝕性改進選項
不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能
不含油
提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容



產(chǎn)品介紹

EBARA 的高溫技術(shù)支持在半導體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應副產(chǎn)物的高負荷工藝。由于其高節(jié)能性能，能夠支持高負載流程，同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號，標配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容，我們可以應對各種高負載工藝。


規(guī)格

模型單元EV-M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
抽速升/分鐘1,80010,00020,00030,0005萬5萬8萬8萬110,000
極限壓力出色地50.50.50.50.50.50.50.50.5
連接直徑進氣口
西北40感光度100感光度100感光度100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
排氣口
西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40
極限壓力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷卻水流量升/分鐘3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
溫度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮氣流量帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
電源相位/電壓/頻率200V型號
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400V型號
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		-3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
電源容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
概略質(zhì)量公斤170320360400500580740820870



EBARA荏原制作所介紹：

“荏原的目標是成為一家在全球范圍內(nèi)發(fā)展的工業(yè)機械制造商，用技術(shù)熱情地支持世界。"


自 1912 年創(chuàng)業(yè)以來，荏原作為以泵為中心的工業(yè)機械制造商，為社會和工業(yè)基礎(chǔ)設施提供支持。此后，荏原的領(lǐng)域穩(wěn)步擴展到冷卻和加熱機械、鼓風機、壓縮機和渦輪機、廢物處理設施的設計、施工和運營管理以及半導體制造設備和設備等領(lǐng)域。

隨著業(yè)務環(huán)境的迅速變化，荏原制定了長期愿景“E-Vision 2030"，描述了荏原在 2030 年想要實現(xiàn)的目標，并在“用技術(shù)熱情支持世界"的旗幟下，荏原將繼續(xù)支持社會和世界各地的工業(yè)基礎(chǔ)設施支持每個人的豐富生活。

未來100年，荏原將繼續(xù)為社會做出廣泛貢獻，提供令所有人滿意的產(chǎn)品和服務。



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