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描述:計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵產(chǎn)品介紹ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合排氣的20,000L/min~80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣,設(shè)計緊湊,并提供耐腐蝕材料選項,非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應(yīng)用。大型機型在大排量的情
標題:計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵
產(chǎn)品概述
計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵
計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵
ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合排氣的20,000L/min~80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣,設(shè)計緊湊,并提供耐腐蝕材料選項,非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應(yīng)用。大型機型在大排量的情況下仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動,并且還可以選擇有機溶劑排氣,使其成為液晶濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。
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