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計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

描述：計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

產(chǎn)品介紹
ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣，設(shè)計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應(yīng)用。大型機型在大排量的情

  • 產(chǎn)品型號：ESA15-D
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-08-13
  • 訪問量：93
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題：計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

產(chǎn)品概述

計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

計測熱銷EBARA荏原高速排氣用干式真空泵


可排氣氫氣等輕質(zhì)氣體的干式真空泵/大室高速排氣

產(chǎn)品介紹

ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣，設(shè)計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應(yīng)用。大型機型在大排量的情況下仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動，并且還可以選擇有機溶劑排氣，使其成為液晶濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。



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