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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 均熱化

描述：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 均熱化
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：UR3601-TT
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-07-02
  • 訪問(wèn)量：95
產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 均熱化

產(chǎn)品概述

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 均熱化

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 均熱化



通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

  • 瞬停對(duì)策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:請(qǐng)勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
*　沒(méi)有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請(qǐng)另行確認(rèn)




■運(yùn)轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式123
N2 流量SLM055~50*1








ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時(shí)，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司，他們希望“通過(guò)真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。

自成立以來(lái)，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán)，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi)，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過(guò)與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來(lái)

ULVAC還希望通過(guò)與客戶的溝通來(lái)支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大，但其冒險(xiǎn)精神始終沒(méi)有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部

愛(ài)發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社

愛(ài)發(fā)科低溫有限公司

愛(ài)發(fā)科（寧波）有限公司

韓國(guó)愛(ài)發(fā)科低溫公司

愛(ài)發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

愛(ài)發(fā)科銷售有限公司

愛(ài)發(fā)科科技有限公司






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