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日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵多級羅茨型

描述：日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵多級羅茨型
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

產(chǎn)品型號：HR60
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-07-02
訪問量：124

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產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題：日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵多級羅茨型

產(chǎn)品概述

日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵均熱化

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達壓力

0.67

最大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

最大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質(zhì)量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。

ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。

追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內(nèi)，零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。

盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。

零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科（寧波）有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司

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日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 多級羅茨型

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