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日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結構

描述：日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結構
通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

  • 產品型號：HR90
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2024-07-02
  • 訪問量：132
產品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題：日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結構

產品概述

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結構

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結構


通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
機械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
排氣速度		50Hzm3/h
(L/min)		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
(L/min)		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到達壓力Pa50.67
最大排氣壓力
（吸入圧力）
大氣壓 *1
最大排氣壓力
（吸入圧力）		Pa1~ 大氣壓
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質量kg180245275370420
電源三相VAC
(Hz)		200(50/60), 220(60)
電流值穩(wěn)定時A7.1
(at 200V)		11.2
(at 200V)		7.8
(at 200V)		12.9
(at 200V)		15.4
(at 200V)
最大值A7.3
(at 200V)		11.8
(at 200V)		8.1
(at 200V)		13.8
(at 200V)		18.9
(at 200V)
冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
冷卻水出入口壓差MPa>0.1
冷卻水流量L/min>5.0
吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
二次壓力MPa0.05~0.1
N2吹掃軸SLM5
氣鎮(zhèn)SLM0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉。






ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。

自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備，ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術創(chuàng)造新價值

ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團內，零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。

通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。


盡管ULVAC現在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科（寧波）有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術（寧波）有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司








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