HR1200日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 灰化裝置用
日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 灰化裝置用
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
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2024-07-02 - 02
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